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MEMS

MEMS

格芯从180nm到40nm的主流平台,提供批量生产认证的、与工业匹配的加工处理方案。

格芯MEMS技术是整合了CMOS后,经过生产认证的成套MEMS处理技术。 基于我们成熟的200mm CMOS制造基础设备,MEMS可以实现大规模的生产。客户可以从一套灵活的、经验证的处理模块中修改他们所必要的方案,或者引用一全套已经可以使用的MEMS产品,包括:微惯性传感器、能量采集、超声波传感器。建立自及其接近200mm和300mm CMOS的制造工厂,一站式购入服务已对MEMS探测器/制动器和配套CMOS芯片开放。这样可以更简化了半导体的获取。

重点提要

  • 为下一代MEMS设施准备的AIN基础上的压电材料
  • 1级,CMOS适用的MEMS无尘室
  • 100/1000级别MEMS专业无尘室
  • 符合QA质量标准,满足ISO/TS16949的要求
  • 实时统计过程控制,设备控制和电子质量系统
  • 合作开发包括可利用的一站式封装测试服务
  • 在CMOS环境下,主要针对MEMS显微机械加工、封装、计量、检测,以及专精制造基础建设且被工程设计调整过的SOI晶圆,建立了成熟的MEMS制造能力。

目标应用

  • 加速度传感器
  • 陀螺仪
  • 超声波传感器
  • 计时与射频设备

MEMS与CMOS集成选项

  • 传统/SIP, WLP, WLP 智能融合,与CMOS的WLP智能融合与TSV和WLP MEMS
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