APM Framework

Einmalige Synchronisation und Automatisierung

„Die Voraussicht und die intensive Arbeit, die in APM investiert wurde, haben sich ausgezahlt. Heute erreichen nur wenige Chiphersteller das Niveau von GLOBALFOUNDRIES bei der Fab-Automatisierung, Präzision und Integration.“

Dan Hutcheson, president of VLSI Research

In Chipfabriken gehört der automatisierte Materialfluss zum Praxisstandard. Aber das ist nur die halbe Antwort auf die Frage nach schneller, genauer und flexibler Produktion. Optimale Ergebnisse werden erzielt, indem man den automatisierten Materialfluss in die innovative, automatisierte Entscheidungsfindung integriert.

Diesen Grad der Integration gibt es nur in den Produktionsstätten von GLOBALFOUNDRIES. Unser einzigartiges Automated Precision Manufacturing System (APM) ermöglicht ein in der Industrie unerreichtes Niveau der Synchronisation und Automatisierung. APM funktioniert wie das zentrale Nervensystem der Chipfabrik. Es nutzt mehr als 400 patentierte und zum Patent angemeldete Technologien, um die notwendige enge Integration und die komplexe Datenanalyse zu gewährleisten.

Wie APM arbeitet

Während die Wafer die Tool-Sets durchlaufen, überwacht die hochentwickelte Dateninfrastruktur von APM ständig den Zustand der Mikroprozessoren in der Produktion, indem sie die Informationen aus Tool-Sets sammelt und analysiert. Durch Nutzung dieser Daten per Echtzeitanalyse modifiziert APM automatisch und kontinuierlich die Verfahrensanleitung („Process Recipe“) an jedem einzelnen Tool. So wird sichergestellt, dass die erzeugten Produkte entsprechend der vorgegebenen Spezifikationen funktionieren und die Defektdichte minimiert wird. APM kontrolliert außerdem den Weg, den jedes Wafer-Los im Reinraum nimmt, um eine optimale Fertigungseffizienz zu erzielen.



Vorteile


Dieser Integrationsgrad hat zwei wesentliche Vorteile: schnelleres Erreichen stabiler Ausbeuteraten bei neuen Technologien und die Fähigkeit, die bereits in der Fertigung befindlichen Produkte zügig in ihrer Funktionalität zu modifizieren, um schnell auf sich ändernde Kundenanforderungen reagieren zu können. Weitere Vorteile sind:

 

    • Produkte, die vom Leistungsprofil abweichen, können automatisch durch Wiederholung des Prozesses korrigiert und mit den Anforderungen in übereinstimmung gebracht werden.
    • Die Durchlaufgeschwindigkeit bereits in der Fertigung befindlicher Produkte kann durch die Nutzung automatischer änderungsanleitungen korrigiert werden, um den Kundenanforderungen zu entsprechen.
    • Verbesserungen im Submicron-Bereich auf der Transistor-Ebene können bis zu einmal im Quartal in die Fertigung eingeführt werden, um die Produktleistung und Energieeffizienz kontinuierlich zu verbessern.
    • In einer einzigen Chipfabrik können Dutzende von Produkttypen und Geschwindigkeitsstufen von denselben Tool-Sets und Produktionslinien gefertigt werden. Das sorgt für eine außerordentliche Fertigungseffizienz.
    • F&E-Wafer können gemeinsam mit Produkt-Wafern dieselbe Fertigungslinie durchlaufen, ohne die Volumenfertigung zu beeinträchtigen - ein entscheidender Faktor für einen schnellen Technologieübergang.

Die kontinuierliche Weiterentwicklung von GLOBALFOUNDRIES‘ bahnbrechendem APM-System hat ein klares Ziel:
Wir wollen in der kontinuierlichen, zeit- und bedarfsgerechten Belieferung unserer Kunden mit Technologien und Services industrieweit führend sein.